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簡(jiǎn)要描述:?SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
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| 品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以亞納米級(jí)測(cè)量精度、全場(chǎng)景適配能力與自動(dòng)化高效操作,在精密制造、半導(dǎo)體、3C電子等領(lǐng)域一站式解決超精密測(cè)量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測(cè)效率低等測(cè)量難題。它以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù),可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

1.超高精度,數(shù)據(jù)可追溯
基于白光干涉技術(shù),形貌重復(fù)性低至0.1nm,粗糙度RMS重復(fù)性僅0.005nm,臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度達(dá)0.3%。搭配0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)與氣浮隔振底座,即便在車間振動(dòng)環(huán)境中,也能輸出穩(wěn)定可靠的數(shù)據(jù),滿足ISO/ASME等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)要求。
2.高效自動(dòng)化,降本增效
W1-Ultra型號(hào)在0.1nm分辨率下掃描速度高達(dá)8μm/s,單區(qū)域、多區(qū)域測(cè)量一鍵啟動(dòng),批量樣品可通過編程預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化檢測(cè)。某3C電子代工廠應(yīng)用后,檢測(cè)效率提升60%,日均處理樣品量從300件增至480件,人力成本降低30%。
3.全場(chǎng)景適配,無需頻繁換設(shè)備
單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì),10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形等多種自動(dòng)拼接模式,支持?jǐn)?shù)千張圖像無縫拼接,輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體研磨件、3C玻璃屏、光學(xué)元件等不同類型工件的測(cè)量需求。
4.自研軟件,適配性更強(qiáng)
Xtremevision Pro第二代3D測(cè)量軟件,可自動(dòng)識(shí)別中圖W/VT/WT系列機(jī)型,支持白光干涉與共聚焦模式自由切換,能直接測(cè)量微觀平面輪廓的距離、角度等參數(shù),搭配批量分析與多格式報(bào)表導(dǎo)出功能,適配質(zhì)檢存檔與工藝優(yōu)化全流程。
1.半導(dǎo)體制造及封裝:精準(zhǔn)測(cè)量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌,某頭部半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后,工藝良率提升8%,檢測(cè)數(shù)據(jù)與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差<0.1%。
2.3C電子:適配手機(jī)玻璃屏粗糙度檢測(cè)、金屬殼模具瑕疵識(shí)別、油墨屏高度差測(cè)量,批量檢測(cè)無需重復(fù)調(diào)試,報(bào)表自動(dòng)導(dǎo)出(Word/Excel/PDF),滿足企業(yè)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)化需求。
3.光學(xué)加工:針對(duì)納米臺(tái)階、光學(xué)元件表面粗糙度測(cè)量,實(shí)現(xiàn)916.5nm臺(tái)階高度精準(zhǔn)量化,助力某光學(xué)廠商降低產(chǎn)品返工率12%。
4.汽車零部件與MEMS器件:檢測(cè)精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙,在復(fù)雜車間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定,某車企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時(shí)縮短至40分鐘。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片
1.自動(dòng)化測(cè)量:操縱桿集成XYZ軸控制、速度調(diào)節(jié)等功能,Mark點(diǎn)自動(dòng)定位校正,批量樣品測(cè)量無需人工值守。
2.數(shù)據(jù)處理與分析:內(nèi)置去噪、濾波等四大處理模塊,涵蓋粗糙度、幾何輪廓等五大分析功能,支持定制化模板批量分析。
3.安全與穩(wěn)定:雙重鏡頭防撞保護(hù)+光源無人值守自動(dòng)熄燈設(shè)計(jì),降低設(shè)備損耗;氣浮隔振底座隔絕地面振動(dòng),確保測(cè)量精度。
4.靈活配置:標(biāo)配10×干涉物鏡(可選2.5×-100×),320×200mm載物臺(tái)適配不同尺寸工件,滿足多樣化檢測(cè)需求。

SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以高精度、高效率、高適配的核心優(yōu)勢(shì),為精密制造、科研檢測(cè)等領(lǐng)域提供一站式測(cè)量解決方案。如需獲取產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)定制化方案或免費(fèi)樣品測(cè)試,歡迎隨時(shí)聯(lián)系。
(注:產(chǎn)品參數(shù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新,具體以最新配置為準(zhǔn),詳情可咨詢客服獲取完整資料。)
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