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高分辨率SEM掃描電鏡

簡要描述:中圖儀器CEM3000系列高分辨率SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。它空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非??旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-10
  • 訪  問  量:758

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

中圖儀器CEM3000系列高分辨率SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。它空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非??旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

高分辨率SEM掃描電鏡


CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統,以便精準調節樣品倉內真空度,滿足不同樣品的觀測需求。


性能特色

1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調節。

2.超高分辨率優于4nm(SE),優于8nm(BSE)@20kV。

3.超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。

4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。

5.抗振性能優異。


產品功能

1)臺式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;

2)高分辨率,能夠對微尺寸特征進行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;

3)快速抽放氣,憑借真空系統設計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;

4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調節功能,無需過多人工操作,就可得到高質量拍攝圖片;

5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術,基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;

7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;

8)能夠提供多種成像參數供用戶選擇,滿足專業用戶的調節需求;

9)搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。

高分辨率SEM掃描電鏡


應用領域

該電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

應用范例:

高分辨率SEM掃描電鏡


產品型號

CEM3000系列臺式掃描電鏡,設有CEM3000A(大樣品倉)、CEM3000B(抗振型)兩款子機型,分別在樣品倉容量、抗振性方面進行了強化加深和技術拉通,兩者具有高通用性,但又各有千秋。

CEM3000系列高分辨率SEM掃描電鏡為客戶提供更適合的產品方案,讓用戶在進行分析時更加得心應手。

高分辨率SEM掃描電鏡


部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優于4nm(SE),優于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統

真空度

高真空:優于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

X,Y,T

手動軸

RZ

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm


樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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