SuperViewW非接觸式表面光學(xué)輪廓儀以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW光學(xué)三維表面粗糙度輪廓儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW非接觸式光學(xué)3D表面形貌測量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理，能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。

SuperViewW非接觸式光學(xué)3D表面粗糙度輪廓儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索、掃描等功能。

SuperViewW光學(xué)三維表面形貌測量儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。