表面光學(xué)輪廓儀

在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。但白光干涉儀由于鏡頭視野較小，要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況，只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能，但耗時(shí)較多，這時(shí)候可以用自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能，在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。

中圖儀器SuperViewW1表面光學(xué)輪廓儀自動(dòng)拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)必須測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí)，都可以采用自動(dòng)拼接，可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無(wú)論何種形貌，都可生成3D全景。

測(cè)量方法很簡(jiǎn)單：

1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得SuperViewW系列表面光學(xué)輪廓儀的鏡頭復(fù)位到載物臺(tái)中心

2.將被測(cè)物放置在載物臺(tái)夾具上，被測(cè)物中心大致和載物臺(tái)中心重合；3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測(cè)量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤；7.點(diǎn)擊多區(qū)域測(cè)量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測(cè)量區(qū)域形狀；9.根據(jù)被測(cè)物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設(shè)置；10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始"圖標(biāo)，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對(duì)焦、找條紋、掃面等操作。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來(lái)，一直堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì)，具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。