SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對(duì)測(cè)試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析，具有測(cè)量準(zhǔn)確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院計(jì)量校準(zhǔn)，技術(shù)指標(biāo)參數(shù)滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W3

產(chǎn)品名稱：白光干涉儀

原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置：長(zhǎng)范圍，Z軸納米光柵控制

物鏡：Nikon，10×無(wú)限遠(yuǎn)共軛干涉物鏡

物鏡座：5孔電動(dòng)物鏡塔臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)）

測(cè)量陣列：1024*1024，工業(yè)級(jí)相機(jī)

Z軸：100mm行程，納米位移閉環(huán)反饋

安全性：系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能

樣品臺(tái)：0.1nm電動(dòng)，俯仰傾斜±6°，電動(dòng)調(diào)節(jié)，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亞微米閉環(huán)反饋

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術(shù)指標(biāo)

光學(xué)規(guī)格

SuperView W3 光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉儀原理研制而成，采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到湖面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品配置

產(chǎn)品特點(diǎn)

1）參數(shù)測(cè)量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡；

2）環(huán)境噪聲監(jiān)測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；

3）雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無(wú)恙；

4）自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫"；

5）雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

白光干涉全自動(dòng)光學(xué)3D表面輪廓儀是深圳市中圖儀器股份有限公司針對(duì)垂直掃描測(cè)量均勻采樣、環(huán)境干擾、中心波長(zhǎng)標(biāo)定、干涉條紋探測(cè)等技術(shù)難題，開(kāi)展白光干涉垂直掃描光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)、宏微驅(qū)動(dòng)掃描技術(shù)、抗振動(dòng)結(jié)構(gòu)系統(tǒng)、高精度三維重建算法和測(cè)量分析軟件系統(tǒng)等關(guān)鍵技術(shù)研究。突破了雙模式復(fù)合三維測(cè)量光學(xué)測(cè)量技術(shù)，開(kāi)發(fā)一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)白光干涉、聚焦成像的三維輪廓測(cè)量復(fù)合光學(xué)測(cè)量裝置，擴(kuò)展測(cè)量?jī)x器測(cè)量能力及應(yīng)用范圍；攻克融合小波變換、正交解調(diào)的三維重建技術(shù)，開(kāi)發(fā)干涉條紋自動(dòng)搜索技術(shù)，較好地抑制非均勻采樣、環(huán)境振動(dòng)干擾等因素的影響；研發(fā)雙通道氣浮振動(dòng)隔離技術(shù)并設(shè)計(jì)氣浮隔振系統(tǒng)，提高測(cè)量系統(tǒng)的抗振動(dòng)能力。

SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀具有創(chuàng)新性，在雙光路復(fù)合三維測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)及全自動(dòng)找尋干涉條紋方法方面達(dá)到不錯(cuò)的水平。如今產(chǎn)品已產(chǎn)業(yè)化，在高?？蒲性核?、3C消費(fèi)類電子、超精密光學(xué)加工、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)企業(yè)、MEMS器件、微納材料及制造、航天軍工等先進(jìn)制造的各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用，反映良好，取得顯著的社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益和生態(tài)環(huán)境效益。