SuperViewW1表面粗糙度光學(xué)測量儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為0.75%，重復(fù)精度要求0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。

SJ5718-R在線粗糙度儀具有精度高、使用方便、功能強(qiáng)等優(yōu)點，能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量，并且具有的CNC功能能進(jìn)行一系列操作自動化，可高效率地進(jìn)行測量作業(yè)。

大量程粗糙度測量儀是一款表面粗糙度測量儀器；采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、音圈電機(jī)測力系統(tǒng)、高性能粗糙度測量模塊、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度的測量和分析

小型粗糙度測量儀通過高精度研磨導(dǎo)軌、高性能直線電機(jī)保證測量的高穩(wěn)定性及直線度，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面粗糙度微觀輪廓的二維坐標(biāo)，計算機(jī)通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，最終還原出工件粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。

由于硅晶圓的粗糙度檢測精度已到亞納米量級，而在此量級上，接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無法滿足檢測要求，只有結(jié)合了光學(xué)干涉原理和精密掃描模塊的SuperViewW1晶圓粗糙度檢測儀器才適用。

中圖儀器SuperViewW1 非接觸粗糙度測量儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。