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光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

SuperViewW1光學輪廓儀檢測儀是中圖儀器推出的一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，用于對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1光學表面輪廓儀中圖儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。

SuperViewW系列高精密光學輪廓測量儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1半導體薄膜光學輪廓無損檢測儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

SJ5760-PR高精度輪廓尺寸測量儀是全自動檢測儀器，所以在測量時只需要檢定人員簡單操作即可完成對工件的測量。測量精度高，量程大，測量速度快，智能化應用與檢定軟件相結合，保護測針和測量系統，儀器操作靈活自如，可以大大提高測量工作效率。