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中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀高精度測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperVirewW1光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術上的優勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

?SJ5730-100國產輪廓測量儀器具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測量范圍，分辨率達到1nm或更高，可以一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數。儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動時，可放置在任何位置控制操作，在測量工件前對測針進行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動測針、急停、測桿上下角度擺動及速度分多級調節功能。

光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。有非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效的優點。