中圖儀器SuperViewW1精密光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW13D光學(xué)白光干涉儀測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

SJ5730齒輪輪廓測(cè)量?jī)x高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求。超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率達(dá)到1nm或更高。一次測(cè)量可同時(shí)評(píng)定粗糙度及輪廓參數(shù)，顯示Ra和Pt等參數(shù)。

SuperViewW1粗糙度光學(xué)輪廓儀的載物臺(tái)尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達(dá)0.1nm。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5718表面缺陷測(cè)量輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器，該儀器可測(cè)量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來(lái)評(píng)定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測(cè)量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)。該儀器還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試評(píng)定；可對(duì)平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試。

SuperViewW1光學(xué)三維3D表面輪廓測(cè)量?jī)x在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。