下面我們?nèi)タ纯磧x器的工作原理：

　　它是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計算機軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對工件進行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實現(xiàn)對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計量儀器。

　　

　　光學(xué)3D輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設(shè)定物鏡倍率和測量模式后點擊“開始”按鈕，光學(xué)物鏡會對工件表面進行自動對焦和非接觸掃描，并按設(shè)定的位置進行測量，軟件界面會實時掃描物體宏微觀表面形貌；掃描結(jié)束后，操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數(shù)據(jù)。

　　

　　三維表面輪廓儀根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)計算2D和3D參數(shù)，使用的ISO25178標(biāo)準(zhǔn)表面紋理分析，依靠的ISO16610濾除技術(shù)進行計算，從而保證了國際公信力。

　　

　　廣泛用于：

　　磨料磨具，航天，汽車，化妝品，能源，醫(yī)療，微機電系統(tǒng)，冶金，造紙和塑料等領(lǐng)域。