SJ6000激光干涉儀榮獲2020年中國儀器儀表學會科技進步二等獎

本項目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm,大測量距離80米，技術(shù)指標達到先進水平。

SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機床、自動化設(shè)備、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數(shù)控機床、三坐標測量機的精度補償。

SJ6000激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、精密加工制造、先進數(shù)控機床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長度測量方面的需求，提升了我國自主的高精密激光測量水平和計量檢定裝備的水平。

不忘鑄器初心，牢記圖強使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和極大尺寸的ODS超精密光學儀器，為3C電子、泛半導體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備。