表面粗糙度作為衡量表面質(zhì)量的關(guān)鍵指標之一，其測量的準確性和可靠性直接影響到產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在當今科技飛速發(fā)展的時代，隨著半導體制造、3C電子、光學加工等行業(yè)的不斷發(fā)展，對表面粗糙度測量儀器的要求也越來越高。SuperView WT3000白光共聚焦顯微鏡(復合型光學3D表面輪廓儀)應(yīng)運而生，它集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種技術(shù)，為表面粗糙度測量提供了更精準、更全面的解決方案。

白光干涉儀測量表面粗糙度的優(yōu)點

1. 高精度測量

SuperView WT3000復合型光學3D表面輪廓儀的白光干涉模式可測量0.1nm及以下的粗糙度和納米級的臺階高度。在測量超光滑表面形貌時，能獲得高精度無失真的圖像。例如在半導體制造中，對于芯片表面的微觀粗糙度測量，白光干涉模式可以精確捕捉到納米級的表面起伏，為芯片質(zhì)量控制提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

其粗糙度RMS重復性可達0.005nm（在實驗室環(huán)境下測量Sa為0.2nm硅晶片，連續(xù)10次或以上測量），這意味著測量結(jié)果的穩(wěn)定性和可靠性高，能夠滿足精密制造行業(yè)對表面粗糙度測量精度的嚴格要求。

2. 廣泛的測量范圍

可以在單一掃描模式下實現(xiàn)從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。無論是光學鏡片的超光滑表面，還是一些黑色塑料部件的粗糙表面，都能進行有效的粗糙度測量。這在3C電子行業(yè)中應(yīng)用廣泛，如手機屏幕玻璃的粗糙度測量以及手機外殼塑料材質(zhì)表面粗糙度的檢測等。

共聚焦顯微鏡測量表面粗糙度的優(yōu)點

1. 大角度測量能力

共聚焦模式具備尖銳角度測量能力，可測量傾角接近90°的微觀形貌。在一些具有復雜形狀和尖銳角度的精密器件表面粗糙度測量中具有優(yōu)勢。例如在微納材料及制造領(lǐng)域，對于一些具有特殊形狀的微納結(jié)構(gòu)，共聚焦顯微鏡模式能夠準確測量其表面粗糙度，為微納材料的研究和應(yīng)用提供重要數(shù)據(jù)支持。

2. 高精度重構(gòu)3D形貌圖像

當測量有尖銳角度的粗糙表面特征時，使用共聚焦顯微鏡模式可以實現(xiàn)大角度的3D形貌圖像重構(gòu)。通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，能夠獲取更全面準確的表面粗糙度信息。這在汽車零部件制造中，對于一些具有復雜形狀的零部件表面粗糙度測量和質(zhì)量控制具有重要意義。

白光共聚焦顯微鏡的優(yōu)勢

1. 多功能集成

SuperView WT3000白光共聚焦顯微鏡(復合型光學3D表面輪廓儀)集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的優(yōu)點，能夠根據(jù)不同的測量需求靈活切換測量模式。在測量過程中，既可以利用白光干涉模式的高精度測量超光滑表面，又可以切換到共聚焦顯微鏡模式測量具有尖銳角度的粗糙表面，為用戶提供了更便捷、更全面的測量解決方案。

2. 提供多種評價標準

可提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。這使得測量結(jié)果更具可比性，無論是在國內(nèi)還是國際市場上，都能滿足不同用戶對表面粗糙度測量結(jié)果評價的需求。

SuperView WT3000白光共聚焦顯微鏡(復合型光學3D表面輪廓儀)通過集成白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的優(yōu)點，在表面粗糙度測量方面表現(xiàn)出了性能。它能夠滿足半導體制造、3C電子、光學加工等多個行業(yè)對表面粗糙度測量的高精度、廣泛測量范圍以及多角度測量等需求。從“制造"到“智造"，隨著科技的不斷進步，這種復合型的測量儀器將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，為提高產(chǎn)品質(zhì)量和推動行業(yè)發(fā)展提供有力的技術(shù)支持。