產品原理是采用白光共聚焦色差技術，利用白光點光源，光線經過透鏡后產生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統用來接收經被測點漫反射后的光。根據準共聚焦原理，探測器系統只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標，即X-Z坐標，以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。將采集的三維坐標數據交給三維處理軟件進行各種表面參數的分析。

　　形貌儀的校準方法：

　　1、三維形貌校準：這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關，所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。

　　2、二維光強校準：這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能，可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復現表面彩色信息。

　　由于以上功能相關標定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準。

　　3、橫向校準：形貌儀這一校準是為了標定在當前設置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。